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• ULVAC uGmni 系列通用多工藝平臺(tái)--新刻蝕模塊發(fā)布
  發(fā)布時(shí)間：2021-12-28

   超過(guò)800個(gè)modules的銷售實(shí)績(jī)

   

  • GaAs、InP、GaN、SiC等化合物半導(dǎo)體

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  • Piezo-MEMS的PZT和AlScN等壓電膜

     

  重大改進(jìn)

   

  • 新型離子源“ISM-duo”

  • 各個(gè)方向等量排氣、大排氣量腔體構(gòu)造

  • 改善冷卻效率的基板電極

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  愛(ài)發(fā)科集團(tuán)出展第十六屆國(guó)際真空展覽會(huì)

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