性插爽视频欧美_久久国产精品视频_精品国产美女福到在线不卡f_国语自产精品视频_九色精品视频在线观看_国内精品视频九九九九_中文成人久久久久影院免费观看_国产成人综合色在线观看网站_国产精品亚洲αv天堂无码_18禁无遮挡羞羞污污污污免费

• 
• 
• 
  服務熱線：182-2185-4021
• 
  
• 

在線留言

聯(lián)系我們 | 人才招聘 | Language |

關于愛發(fā)科

公司介紹 集團分布 服務據(jù)點

產(chǎn)品中心

設備(按類型分) 設備(按用途分) 真空標準部件 材料 二手設備

解決方案

新聞中心

公司新聞 展會活動 行業(yè)活動

售后服務

設備維修 部品維修 部品消耗品 表面處理 分析服務 培訓服務 服務據(jù)點

關于愛發(fā)科

關于愛發(fā)科

公司介紹 集團分布 服務據(jù)點 研究開發(fā)

產(chǎn)品中心

產(chǎn)品中心

真空設備 FPD&PV設備 半導體設備 電子設備 產(chǎn)業(yè)機器

真空標準部件 干泵 油泵 低溫泵 渦輪分子泵 更多……

二手設備

解決方案

新聞中心

售后服務

• 關于愛發(fā)科
  公司介紹 集團分布 銷售據(jù)點 服務據(jù)點
• 產(chǎn)品中心
  設備(按類型分) 設備(按用途分) 真空標準部件 材料 二手設備
• 解決方案
• 新聞中心
  公司新聞 展會活動 行業(yè)活動
• 售后服務
  服務據(jù)點 培訓服務 分析服務 表面處理 部品消耗品 部品維修 設備維修

• 半導體制造設備的濺射靶材
  

  先進的薄膜材料，ULVAC的半導體用靶材，以
  ?低particle
  ?均勻的薄膜厚度分布
  ?使用效率高
  作為品質(zhì)目標，對每種材料研討制造方法，進而開發(fā)制造的高品質(zhì)濺射靶。
  

  購買咨詢

  若想了解更多請致電182-2185-4021

  • 產(chǎn)品特性 / Product characteristics

  •  • 采用最合適制造方法的濺射靶

    ULVAC為了滿足半導體工藝所需的各種要求，采用合適的制造方法，進行靶材的開發(fā)和制造。

    • 抑制particle發(fā)生的濺射靶
    濺射中發(fā)生問題，ULVAC開發(fā)了抑制particle發(fā)生的濺射靶。特別是，根據(jù)在Al靶的精煉和鑄造過程中采用的真空溶解法，我們正在努力減少氧氣等氣體成分，因為這是particle產(chǎn)生的原因之一。
    • 通過金屬結構調(diào)整實現(xiàn)高均勻性
    ULVAC的高純度鈷靶和鈦靶開始，大多數(shù)半導體靶材采用的制造工藝，注重精細和均質(zhì)化的冶金結構。比如，在高純度鈷靶中，通過金屬結構的精細和均勻化，使靶材表面上的漏磁通量偏差最小化。
    • 完全的品質(zhì)管體體制
    我們ULVAC考慮對產(chǎn)品的特性和形狀，貫徹始終地進行制造。
    • 通過金屬結構調(diào)整實現(xiàn)高均勻性
  • 產(chǎn)品應用 / Product application

  • 鎢靶的GDMS分析結果

    

     

    半導體設備用的濺射靶材

    

    主要300mmWafer用靶材

    

  • 產(chǎn)品參數(shù) / Product parameters
• 產(chǎn)品系列

  • 設備(按類型分)
    蒸發(fā)設備 退火設備 蒸餾設備 氦檢漏設備 凍結干燥設備 卷繞設備 真空爐 CVD設備 離子注入設備 去膠設備 濺射設備 刻蝕設備 其他
  • 設備(按用途分)
    FPD&PV設備 半導體設備 電子設備 產(chǎn)業(yè)機器
  • 真空標準部件
    真空泵 氣體分析計 成膜用電源 超高真空部件 微量精密攪拌機 薄膜計測 分子間相互作用解析裝置 光學工藝模擬器 軟件 真空搬運機械手 檢漏儀 真空計 真空閥
  • 材料
    高功能材料 納米金屬油墨 濺射靶材
  • 二手設備
  搜索