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• IGZO靶材
  

  ULVAC制造和銷(xiāo)售IGZO TAOS（使用In，Ga，Zn，O透明Amorphous氧化物半導(dǎo)體）中使用的IGZO靶。 為了抑制particle，靶材的高密度化?減少靶材的分割數(shù)量，正在向全球大多數(shù)顯示器制造商提供高質(zhì)量的IGZO靶材，IGZO用濺射設(shè)備和IGZO工藝。 此外，ULVAC成功開(kāi)發(fā)出長(zhǎng)度約為3米的大型IGZO靶材。 期待這個(gè)大型的IGZO靶材將徹底解決TFT特性的劣化。

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  • • 高密度化，分割數(shù)減少提高了靶材了品質(zhì)

    • 減少particle 較穩(wěn)定的膜特性
    •       可在大型量社別上進(jìn)行批量生產(chǎn)
    • 可提供長(zhǎng)度為3m的大型IGZO靶材
        
  • 產(chǎn)品應(yīng)用 / Product application
  • 產(chǎn)品參數(shù) / Product parameters
• 產(chǎn)品系列

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    蒸發(fā)設(shè)備 退火設(shè)備 蒸餾設(shè)備 氦檢漏設(shè)備 凍結(jié)干燥設(shè)備 卷繞設(shè)備 真空爐 CVD設(shè)備 離子注入設(shè)備 去膠設(shè)備 濺射設(shè)備 刻蝕設(shè)備 其他
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