TCO激光劃線設(shè)備ULT-1400
ULT-1400
本設(shè)備通過(guò)近紅外脈沖激光燒蝕法除去玻璃基板上成膜的透明電極(TCO)膜,是一種枚用式激光劃線設(shè)備。本設(shè)備由6個(gè)IR激光法陣器和光學(xué)系統(tǒng)、Bridge式XY平臺(tái)(X軸:下軸、Y軸:上軸)、基板搬送機(jī)構(gòu)、集塵機(jī)、激光測(cè)定機(jī)構(gòu)和控制系統(tǒng)構(gòu)成。采用光纖激光和花崗巖平臺(tái),可實(shí)現(xiàn)高精度高穩(wěn)定性。
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